平面拋光機(jī)的主要目的是改善拋光速率，因此可以減少磨削過程中產(chǎn)生的損傷層。如果速率非常高，也會(huì)使拋光損傷層不會(huì)造成錯(cuò)誤的組織，不會(huì)影響觀察到的材料組織。如果是使用粗磨，可以起到去除磨削損傷層的影響，也有負(fù)面影響，將深化拋光層時(shí)的傷害。超精密雙面拋光加工技術(shù)設(shè)備，包括雙面拋光機(jī)拋光結(jié)束后點(diǎn)檢測(cè)和過程控制設(shè)備、清洗設(shè)備、廢物處理和測(cè)試設(shè)備等，消耗品包括拋光墊拋光液。

超精密雙面拋光過程主要包括拋光，清洗后和測(cè)量測(cè)試等幾個(gè)部分。因此，超精密拋光系統(tǒng)包括許多變量:芯片本身變量、拋光液、拋光墊拋光機(jī)流程變量，等等，超精密雙面拋光過程的三個(gè)關(guān)鍵參數(shù)是拋光機(jī)，拋光墊拋光液，相互匹配和各自的屬性對(duì)工件表面質(zhì)量的影響。

如果要使用更多的細(xì)磨時(shí)可以大大減少拋光損傷層，但拋光的速度。解決問題的主要方法是在拋光階段，可以粗略的拋光，第一次穿了損傷層，然后進(jìn)行打磨拋光，用來清除拋光層受損。所以不要緊張的加快了速度，但也是減少損傷的影響。平面拋光機(jī)使用方法比較簡(jiǎn)單，拋光過程自動(dòng)化。

運(yùn)營商需要拋光材料在夾具上，然后將其固定在拋光機(jī)工作臺(tái)，然后你就可以開始拋光機(jī)，拋光機(jī)完成后會(huì)自動(dòng)停止，然后你只需要卸載材料。重要的是要注意在拋光，需要調(diào)整拋光頭的距離表，為了提高拋光的效果。手工拋光的過程中，這樣我們可以減少拋光的成本。改善的拋光技術(shù)，應(yīng)用平面拋光機(jī)在市場(chǎng)上以前所未有的速度輻射，但當(dāng)涉及到應(yīng)用程序中，技術(shù)人員發(fā)現(xiàn)其中仍存在一些問題，這些問題或多或少會(huì)影響最后的拋光效果。